等離子光譜儀擁有擁有大型的光譜儀所不擁有的優勢，如重量較輕、體型小、探測速度更快、方便使用、可集成化、可大批量生產制造及其成本費較低等，這導致該儀器在各行業擁有很廣泛的應用前景。

　　精度自始至終是決策等離子光譜儀測量的核心，解析的是被測試品在各光波波長下吸取或反射的光強的大小。而在具體光譜儀設計構思生產制造中會具有相應的誤差，這就難以用簡單的光柵公式計算直接預測分析波長的具體地址。

　　在等離子光譜儀中，光波波長是由CCD像素所體現的，因而在具體測量中因為環境和時間的影響會造成光波波長與像素相互之間的轉變 ，光譜儀中各CCD像素所相對應的具體光波波長務必確切明確，不然測量的準確性便會減少。因此 ，以便獲得確切的測量結果，光譜儀在應用前務必開展嚴苛的標定，明確CCD像素和光波波長的對應關系。

　　依據誤差的特性及形成緣故，系統誤差的由來可分成下邊幾種：

　　(1)標樣和樣品中的成分和化學構成不完全一致時，很有可能造成基體線和分析線的強度更改，進而引進誤差。

　　(2)標樣和樣品的物理性能不完全一致時，激起的特征譜線會出現差別進而形成系統誤差。

　　(3)澆注情況的鋼樣與通過退火、淬火、回火、熱軋、鍛壓情況的鋼樣金屬組織架構不一樣時，測到的數據資料會有一定的差別。

　　(4)不明元素譜線的重疊影響。如熔煉流程中添加脫氧劑、除硫磷劑時，混進不明合金元素而引進系統誤差。

　　(5)等離子光譜儀要清除系統誤差，務必嚴苛依照規范試品制備規定要求。以便查驗系統誤差，就需要選用化學分析方式 解析數次校對結果。